通过使用高亮度微焦斑固定靶点光源产生一道X光束，并利用真空正交背靠背X射线人工多层反射聚焦镜，对X射线二次反射，将光束的能量范围缩减至非常窄，这道非常细的光束会以极小的角度（小于1°）照射在一个平整的样品载体上，并且完全被反射出来，而样品会发出特征荧光，并通过能量色散型X光探测器进行测量，由于探测器与样品载体的距离很短，因此荧光的探测效率非常高，还降低了空气对X光的吸收。