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扫描电子显微镜(SEM)

SuperSEM N10XL桌面式扫描电镜

超大样品仓赋能,能谱伪彩成像,重新定义桌面式扫描电镜!
SuperSEM N10XL桌面式扫描电镜

浪声科学全新推出的SuperSEM N10XL桌面式扫描电镜,集超大样品仓、智能化操作与稳定高性能于一体,专为应对现代工业检测与科研中多样化的样品观察需求而设计。其样品仓可轻松容纳直径达100毫米、高80毫米的大尺寸或复杂零件,用户无需切割破坏即可直接对完整工件进行原位微观分析,极大拓展了在半导体封装、金属材料、陶瓷元件及新能源电池等领域的现场检测能力。设备采用浪声科学自主研发的高性能电子光学系统与钨灯丝光源,在低真空模式下也可实现纳米级分辨率成像,轻松实现“即放即看”的高效工作。


作为一款现代化的桌面电镜,SuperSEM N10XL深度融合智能化与人性化。其坚固可靠的机械结构与免维护设计,确保了仪器在办公室、生产车间、教学实验室等多种环境下均能稳定运行。SuperSEM N10XL桌面电镜以其卓越的易用性、可靠的性能,正成为材料检测、质量管控、科学教育及企业研发领域的理想微观分析工具,让前沿的扫描电镜技术从此变得高效、普及且触手可及。


使用优势

实时能谱伪彩成像

通过能谱(EDS)实时捕捉样品释放的特征X射线,扫描电镜(SEM)彻底摆脱“色盲”的局限,步入一个七彩斑斓的微观世界。这些特征X射线被转化为绚丽的伪彩色图像,仿佛为元素分布绘制了一幅生动的“元素地图”,不仅让客户直观感受到元素分布的规律与含量信息,更将微观世界的奥秘清晰呈现,一目了然。‌

可视化能谱分析

自由选择分析范围,针对图像上点、线、面等不同区域的元素鉴别,配以优异的可视化分析算法和软件,实现相近谱峰精准分离、元素空间分布展示等功能,可应用于研究材料的界面布局、元素均匀性、扩散等特性。

实时成分信息

与传统的扫描电镜不同,本仪器将EDS作为一种探测器一起集成在电镜上,独家开发BSE视频数据和EDS能谱数据同步处理的算法,可扫描获取多种信号同时执行元素分析,实时检测形貌与各种元素含量信息。

扫描速度快

搭载10M信号采集宽带,犹如为微观世界配备了一台"4K超高清高速摄像机",极速扫描,让您在视频模式下可实时捕捉样品的每一帧精彩瞬间,无重影、拖影,每一个细节都它逃不过的"火眼金睛"

实时谱图对比

告别漫长等待!本系统打破传统束缚,让定量分析结果如同"直播"般实时呈现。您可以在数据采集的同时,轻松调取历史谱图进行即时对比,这种"边采边对比"的智能体验,助力您的工作效率飞升!

一键式操作,更好的使用体验

本软件采用极简易用设计理念,一体式聚光镜告别繁琐的手动调节,自动维持最佳电子束状态。只需轻点鼠标,亮度对比度优化、精准聚焦、像散校正、全景拼接等复杂操作一键搞定,让新手也能在10分钟内变身操作达人,轻松玩转微观世界

减轻荷电

配备低真空模式、降低加速电压等方法,可有效减轻荷电效应,以获得高质量的成像结果,告别图像失真困扰,让微观细节纤毫毕现!

背散射电子探测器

采用高感度四分割背散射电子探测器,独立成像并任意合成信号,可给出丰富的成份信息,环境适应性良好。

信号多样

SuperSEM装备了强大的"探测天团",二次电子探测器、背散射电子探测器、集成式能谱仪三种探测器强强联手,为您打造全方位的微观分析体验!

体积小巧

设备体积小巧,结构紧凑,无需特装设备间和额外减震台,常规市电即插即用。




应用场景

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图1)


材料科学

在材料科学中,SEM可清晰观察材料表面的微观形貌,如晶粒大小和分布,帮助研究人员初步了解材料结构。背散射电子探测器能根据原子序数差异区分不同材料相,为相分析提供依据。能谱探测器则用于基本的成分分析,确定材料中元素的种类和大致含量。这些功能为材料的初步研究和性能评估提供了重要的微观信息。

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图2)


工业制造

SEM主要用于质量检测和工艺优化,可检查零件表面的加工痕迹、磨损情况以及微观缺陷,确保产品精度和质量;识别材料成分差异,帮助发现杂质或材料不均匀性;进一步分析材料成分,确保符合设计要求。其有助于提高产品质量,减少次品率,优化生产流程。

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图3)

生命科学

SEM可用于观察细胞和生物组织的表面结构,清晰呈现细胞的轮廓、微绒毛等细节,帮助研究人员了解细胞的形态和功能。背散射电子探测器可以根据细胞成分的差异进行区分,提供细胞内部结构的初步信息。能谱探测器可用于分析细胞内元素的分布,如钙、磷等,为生物材料研究和细胞生物学研究提供基础数据。

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图4)


地球科学

在地球科学中,SEM可观察矿物晶体的形态、大小和排列方式,帮助科学家推断矿物的形成环境,也能区分不同矿物成分,为岩石的成分分析提供直观图像。搭配EDS可用于精确分析矿物的元素组成,确定矿物种类。为地质学家研究地球历史和地质过程提供了重要的微观证据。

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图5)

新能源材料

在新能源材料研究中,SEM为新能源材料的研发和性能优化提供了重要的微观信息。其能清晰显示电池电极材料的颗粒大小和孔隙结构,可区分不同材料相,帮助研究人员了解材料的均匀性。能谱探测器可用于分析材料成分,确保材料纯度和一致性。

SuperSEM桌面式多功能实时能谱扫描电镜(图6)

金属材料

SEM可用于观察金属微观组织结构,可清晰呈现晶粒大小和晶界形态,为了解金属基本性能提供依据;可区分不同相,助力相分析。能谱探测器可分析金属成分,检测杂质元素。




规格参数

尺寸(W×L×H)50×620×600 mm
重量66kg
加速电压5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
三轴自动样品台

X:±50 mm Y:±50 mm Z:60mm

最大样品尺寸

200 mm(直径)

60 mm(厚度)

倍率

×10~×100,000(照片倍率)

×25~×250,000(显示器倍率) 

电子枪预对中钨灯丝电子枪
检测器

背散射电子:高感度4分割 背散电子检测器

二次电子:二次电子检测器

EDS:实时能谱伪彩成像

EDS参数

探测器类型:硅漂移探测器

探测面积:30mm2

分辨率:130eV

元素分析范围:B(硼)-Cf(锎)

图像信号背散射电子   

自研实时能谱探测器 

二次电子  

复合图像(背散射电子+二次电子+实时能谱自动着色伪彩成像)

真空模式

导电体(仅背散射电子)

标准  

荷电减轻