扫描电子显微镜是以电子束作为照明源，把聚焦的很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像，与光学显微镜或透射显微镜相比，它具有分辨率高、景深大、图像富有立体感等优点。
扫描电子显微镜主要由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统、图像处理显示和记录系统、样品室样品台、电源系统和计算机控制系统等组成。电子光学系统主要由电子枪、电磁聚光镜、光阑、扫描系统、消像散器、物镜和各类对中线圈组成，主要是给扫描电镜提供一定能量可控的并且有足够强度的，束斑大小可调节的，形状完美对称的，并且稳定的电子束。
