金属材料的内部结构通常需要经过切割、镶嵌、研磨、抛光和腐蚀等样品制备步骤后观察。桌面式扫描电镜可用于分析晶粒尺寸、相组成、夹杂物、析出物、孔洞、微裂纹、偏析、镀层结构、焊接热影响区以及增材制造熔池组织等。利用二次电子像可观察组织形貌，利用背散射电子像可依据原子序数衬度区分不同相，结合能谱分析还可进一步确定各相的化学成分。该功能可用于热处理工艺评价、铸造组织分析、焊接质量评估、粉末冶金组织观察、增材制造材料研究以及失效分析中的组织溯源。对于金属行业而言，内部结构观察有助于建立材料组织与性能之间的关系，为工艺优化和质量控制提供微观依据。
