扫描电镜是一种利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品相互作用产生的信号来获得样品表面形貌和成分信息的仪器。其核心原理包括电子枪发射电子束，经过电磁透镜聚焦后扫描样品表面，探测器接收二次电子、背散射电子等信号，最终形成高分辨率的图像。1

扫描电子显微镜主要由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统、图像处理显示和记录系统、样品室样品台、电源系统和计算机控制系统等组成。电子光学系统主要由电子枪、电磁聚光镜、光阑、扫描系统、消像散器、物镜和各类对中线圈组成，主要是给扫描电镜提供一定能量可控的并且有足够强度的，束斑大小可调节的，形状完美对称的，并且稳定的电子束。