测量结果可能受到以下因素的影响：

表面准备：镀层测厚仪对表面的准备要求严格，确保表面光洁、无杂质、无腐蚀等。如果表面准备不充分，测量结果可能不准确。

校准：确保测厚仪已经正确校准，以便提供准确的测量结果。定期进行校准是至关重要的。

镀层结构影响：对于多层镀层结构，一定要确保镀层结构与镀层方法保持一致，即镀层元素先后顺序与方法对应，否则会影响测试结果准确性。

测量技术：使用测厚仪时，请确保正确选择适当的测量技术和设置，以适应不同类型的镀层。

测量位点：镀层测厚的位点面积有限，且不同位点收到镀层技术影响，会存在不均匀现象，建议实际测试时，取不同位点测试厚度取平均值。

测厚范围：XRF测试镀层厚度，对不同结构，有不同理论测试厚度，若实际镀层样品厚度超过理论测试厚度，测试结果不具备参考价值。

仪器故障：如果以上步骤都已正确执行，但仍然存在偏差，可能是测厚仪本身存在问题。在这种情况下，检查仪器并进行维修或更换可能是必要的。